クリーンルームの設計は、国際規格に準拠し、先進技術、経済合理性、安全性、適用性を実現し、品質を確保するとともに、省エネルギーと環境保護の要件を満たす必要があります。既存の建物をクリーンテクノロジー改修に利用する場合、クリーンルームの設計は生産工程の要件に基づき、現地の状況に合わせて個別に検討し、既存の技術設備を最大限に活用する必要があります。クリーンルームの設計は、建設、設置、保守管理、試験、および安全な運用に必要な条件を整えるものでなければなりません。
各クリーンルームの空気清浄度レベルの判定は、以下の要件を満たす必要がある。
- クリーンルーム内で複数の工程が行われる場合、各工程の要求に応じて異なる空気清浄度レベルを採用する必要がある。
- 生産工程の要件を満たすことを前提として、クリーンルームの空気分配と清浄度レベルは、局所的な作業エリアの空気浄化と部屋全体の空気浄化を組み合わせた方式を採用すべきである。
（１）層流クリーンルーム、乱流クリーンルーム、および異なる運転シフトや使用時間を持つクリーンルームには、それぞれ独立した浄化空調システムを設ける必要がある。
（２）クリーンルーム内の計算された温度と相対湿度は、以下の規定に準拠しなければならない。
①製造工程の要件を満たす。
②製造工程において温度や湿度に関する要件がない場合、クリーンルームの温度は20～26℃、相対湿度は70％です。
- クリーンルームには一定量の新鮮な空気を確保する必要があり、その値は以下の空気量の最大値とするべきである。
（１）乱流クリーンルームでは総空気供給量の１０％〜３０％、層流クリーンルームでは総空気供給量の２〜４％。
（２）室内排気を補い、室内正圧値を維持するために必要な外気量。
（３）室内の換気量は、一人当たり1時間あたり40立方メートル以上とする。
- クリーンルームの正圧制御
クリーンルームは一定の正圧を維持しなければならない。異なるレベルのクリーンルーム間、およびクリーンエリアと非クリーンエリア間の静圧差は5Pa以上でなければならず、クリーンエリアと屋外間の静圧差は10Pa以上でなければならない。
投稿日時：2023年5月22日