クリーンルームの設計は、国際標準を実装し、高度な技術、経済合理性、安全性と適用性を達成し、品質を確保し、省エネと環境保護の要件を満たさなければなりません。既存の建物をクリーンテクノロジー改修に使用する場合、クリーンルームの設計は生産プロセスの要件に基づいて、地域の状況に合わせて調整し、異なる方法で処理し、既存の技術設備を最大限に活用する必要があります。クリーンルームの設計では、建設、設置、保守管理、試験、および安全な操作に必要な条件を作成する必要があります。
各クリーン ルームの空気清浄度レベルの決定は、次の要件を満たす必要があります。
- クリーンルーム内に複数のプロセスがある場合、各プロセスの異なる要件に応じて、異なる空気清浄度レベルを採用する必要があります。
- 生産プロセスの要件を満たすことを前提として、クリーンルームの空気分布と清浄度レベルは、局所的な作業エリアの空気浄化と部屋全体の空気浄化の組み合わせを採用する必要があります。
(1)。層流クリーンルーム、乱流クリーンルーム、稼働シフトや使用時間が異なるクリーンルームでは、浄化空調システムを分離する必要があります。
(2)。クリーン ルーム内の計算された温度と相対湿度は、次の規制に準拠する必要があります。
①生産プロセスの要件を満たす。
②製造工程で温湿度の要求がない場合、クリーンルームの温度は20～26℃、相対湿度は70％となります。
- クリーンルーム内に一定量の新鮮な空気を確保する必要があり、その値は次の空気量の最大値とします。
(1)。乱流クリーン ルームでは総空気供給量の 10 ～ 30%、層流クリーン ルームでは総空気供給量の 2 ～ 4%。
(2)。室内の排気を補い、室内の正圧値を維持するには、新鮮な空気の量が必要です。
(3)。 1 人あたり 1 時間あたりの室内の新鮮な空気の量が 40 立方メートル以上であることを確認してください。
- クリーンルーム陽圧制御
クリーンルームは一定の正圧を維持する必要があります。異なるレベルのクリーンルーム間およびクリーンエリアと非クリーンエリア間の静圧差は5Pa以上、クリーンエリアと屋外の静圧差は10Pa以上である必要があります。
投稿日時: 2023 年 5 月 22 日