クリーンルームの設計は、国際基準を遵守し、先進技術、経済合理性、安全性、適用性を実現し、品質を確保し、省エネと環境保護の要件を満たす必要があります。既存の建物をクリーンテクノロジーの改修に使用する場合、クリーンルームの設計は生産プロセスの要件に基づき、地域の状況に合わせて個別に対応し、既存の技術設備を最大限に活用する必要があります。クリーンルームの設計は、建設、設置、保守管理、試験、安全な運用に必要な条件を整える必要があります。
各クリーンルームの空気清浄度のレベルの決定は、以下の要件を満たす必要があります。
- クリーンルーム内に複数のプロセスがある場合は、各プロセスの異なる要件に応じて異なる空気清浄レベルを採用する必要があります。
- 生産プロセスの要件を満たすことを前提として、クリーンルームの空気分配と清浄度は、局所作業エリアの空気浄化と室内全体の空気浄化を組み合わせて採用する必要があります。
（１）層流クリーンルーム、乱流クリーンルーム、および運転シフトや使用時間が異なるクリーンルームには、それぞれ別々の浄化空調システムを設置する必要がある。
（２）クリーンルーム内の計算された温度と相対湿度は、以下の規制に準拠する必要があります。
①生産プロセスの要件を満たす
②製造工程において温度や湿度の要件がない場合、クリーンルームの温度は20～26℃、相対湿度は70％となります。
- クリーンルームには一定量の新鮮な空気が確保される必要があり、その値は以下の空気量の最大値とする必要があります。
（１）乱流クリーンルームでは総空気供給量の10％～30％、層流クリーンルームでは総空気供給量の2～4％。
（２）室内の排気を補い、室内の正圧を維持するために必要な新鮮空気の量。
（３）室内の１人１時間当たりの新鮮空気量が40立方メートル以上であることを確保する。
- クリーンルームの正圧制御
クリーンルームは一定の正圧を維持する必要があります。異なるレベルのクリーンルーム間、およびクリーンエリアと非クリーンエリア間の静圧差は5Pa以上、クリーンエリアと屋外間の静圧差は10Pa以上である必要があります。
投稿日時: 2023年5月22日