クリーンルームにおける帯電防止処理

1. クリーンルーム作業場の屋内環境では、静電気による危険が多々発生しており、電子機器、電子計測器、電子機器の損傷や性能低下、人体への感電事故、爆発・火災危険箇所での発火、爆発、粉塵吸着による環境清浄度の低下などを引き起こす可能性があります。そのため、クリーンルームの設計においては、帯電防止環境に十分注意を払う必要があります。

2. 静電気伝導性を有する帯電防止床材の使用は、帯電防止環境設計の基本要件です。現在、国内で生産されている帯電防止材料および製品には、長期作用型、短期作用型、中期作用型があります。長期作用型は長期間静電気散逸性能を維持する必要があり、その期間は10年以上です。一方、短期作用型は3年以内に静電気散逸性能を維持し、3年以上10年未満のものは中期作用型です。クリーンルームは一般的に恒久的な建物です。したがって、帯電防止床は長期間安定した静電気散逸特性を有する材料で作られる必要があります。

3. 用途の異なるクリーンルームでは帯電防止制御に対する要求が異なるため、実際のエンジニアリングでは、一部のクリーンルームの浄化空調システムには現在、帯電防止接地対策が採用されている。浄化空調システムではこの対策は採用されていない。

4. クリーンルーム内で静電気を発生する可能性のある生産設備（帯電防止安全作業台を含む）や、静電気を発生しやすい液体、気体、粉末が流れる配管については、静電気を逃がすための帯電防止接地対策を講じる必要があります。これらの設備や配管が爆発や火災の危険がある環境にある場合は、重大な災害を防止するために、設備や配管の接続および設置に関する要件がより厳格になります。

5. さまざまな接地システム間の相互関係を解決するために、接地システムの設計は避雷接地システムの設計に基づいて行う必要があります。さまざまな機能接地システムはほとんどの場合、総合的な接地方法を採用しているため、まず避雷接地システムを考慮する必要があり、他の機能接地システムは避雷接地システムの保護範囲に含める必要があります。クリーンルームの避雷接地システムは、建設後のクリーンルームの安全な運用に関わります。