クリーンルームにおける帯電防止処理

1. クリーンルーム作業場の室内環境には、静電気による危険性が多々存在し、電子機器、電子計測機器、電子機器の損傷や性能低下、人体への感電による傷害、爆発・火災危険区域での発火、爆発、粉塵吸着による環境清浄度への影響などを引き起こす可能性があります。そのため、クリーンルームの設計においては、静電気対策に細心の注意を払う必要があります。

2. 静電気伝導性を有する帯電防止床材の使用は、帯電防止環境設計の基本要件です。現在、国産の帯電防止材料・製品には、長時間作用型、短時間作用型、中効率型があります。長時間作用型は静電気の放散性能を長期間維持する必要があり、その使用期限は10年以上です。一方、短時間作用型は静電気の放散性能を3年以内に維持するもの、3年以上10年未満のものは中効率型です。クリーンルームは一般的に恒久的な建物であるため、帯電防止床材は、長期間安定した静電気放散性能を持つ材料で作られるべきです。

3. クリーンルームの用途によって静電気対策の要件は異なるため、エンジニアリングの実践では、一部のクリーンルームの浄化空調システムには静電気対策接地が採用されているのが現状です。ただし、浄化空調システムではこの対策は採用されていません。

4. クリーンルーム内で静電気を発生する可能性のある生産設備（静電気防止安全作業台を含む）や、静電気を発生する可能性のある液体、ガス、粉体を流通する配管については、静電気を逃がすための静電気防止接地対策を講じる必要があります。これらの設備や配管が爆発・火災の危険がある環境にある場合は、重大な災害を防止するため、設備や配管の接続および設置に関する要件がより厳格になります。

5. 各種接地システム間の相互関係を解決するために、接地システムの設計は避雷接地システムの設計に基づいて行う必要があります。各種機能接地システムは多くの場合、総合的な接地方式を採用しているため、まず避雷接地システムを考慮し、他の機能接地システムを避雷接地システムの保護範囲に含める必要があります。クリーンルーム避雷接地システムは、建設後のクリーンルームの安全な運用に関わっています。