クラス 10000 標準によるオンサイト試運転後、風量 (空気交換回数)、圧力差、沈降細菌などのパラメータはすべて設計 (GMP) 要件を満たし、粉塵粒子検出の 1 項目のみが不適格です。 (クラス100000)。カウンター測定の結果、主に 5 μm および 10 μm の大きな粒子が基準を超えていることがわかりました。
1. 故障解析
規格を超える大きなパーティクルが発生する原因は、一般的に高清浄度のクリーンルームで発生します。クリーンルームの浄化効果が良くないと、試験結果に直接影響します。風量データの分析とこれまでのエンジニアリング経験により、一部の部屋の理論的なテスト結果はクラス 1000 であるはずです。予備分析は次のように導入されます。
①。清掃作業は標準に達していません。
②。 hepaフィルターのフレームからエア漏れがございます。
③。 hepaフィルターに漏れがあります。
④。クリーンルーム内は負圧になります。
⑤。風量が足りない。
⑥．エアコンのフィルターが目詰まりしている。
⑦。外気フィルターが詰まっている。
上記の分析に基づいて、組織はクリーンルームの状態を再テストするために人員を組織し、設計要件を満たす空気量、圧力差などを見つけました。すべてのクリーンルームの清浄度はクラス 100000 でしたが、5 μm および 10 μm の塵粒子は基準を超えており、クラス 10000 の設計要件を満たしていませんでした。
2. 考えられる障害を 1 つずつ分析して排除します
これまでのプロジェクトでは、外気フィルタやユニットの一次効率や中効率の詰まりにより、差圧不足や空気供給量の低下が発生するケースがありました。本体を点検し、室内の風量を測定した結果、④⑤⑥⑦の項目に誤りがあると判断したため、残りの次は、室内の清潔さと効率の問題です。実際、現場での清掃は行われていませんでした。問題を検査および分析する際、作業員はクリーンルームを特別に清掃しました。測定結果では、依然として大きな粒子が基準を超えていることが示されたため、hepaボックスを1つずつ開けてスキャンし、フィルタリングしました。スキャンの結果、1 つの hepa フィルターが中央で破損し、他のすべてのフィルターと hepa ボックスの間のフレームの粒子数測定値が、特に 5 μm と 10 μm の粒子で突然増加したことが示されました。
3. 解決策
問題の原因がわかっているので、解決するのは簡単です。今回使用したhepaボックスは全てボルト圧入でロックされたフィルター構造となっています。フィルターフレームとヘパボックスの内壁の間には1〜2cmの隙間があります。隙間をシールストリップで埋め、中性シーラントでシールした後でも、部屋の清浄度はクラス100000のままです。
4. 故障の再解析
hepa ボックスのフレームが密閉され、フィルターがスキャンされたので、フィルターには漏れ箇所がありません。したがって、問題は依然として通気口の内壁のフレームで発生します。次に、フレームを再度スキャンしました。hepa ボックスの内壁フレームの検出結果。シールを通過した後、ヘパボックスの内壁の隙間を再検査したところ、依然として大きな粒子が基準を超えていることがわかりました。当初はフィルターと内壁との角度での渦電流現象だと考えていました。 hepaフィルターの枠に沿って1mのフィルムを吊るす準備をしました。左右のフィルムをシールドとして使用し、hepaフィルター下で清浄度テストを実施します。フィルムを貼り付ける準備をしていると、内壁に塗装剥がれ現象があり、内壁全体に隙間があることがわかりました。
5. HEPAボックスからの粉塵の処理
hepaボックスの内壁にアルミ箔テープを貼り、エアポート自体の内壁への粉塵を軽減します。アルミ箔テープを貼り付けた後、hepaフィルターの枠に沿ってゴミの数を検出します。フレーム検出処理後、処理前後のパーティクルカウンターの検出結果を比較することで、規格を超える大きな粒子の原因がヘパボックス自体から飛散した粉塵によるものであることが明確にわかります。ディフューザーカバーを取り付けた後、クリーンルームを再テストしました。
6. まとめ
クリーンルームプロジェクトでは基準を超える大きな粒子が発生することはまれであり、完全に回避できます。このクリーンルームプロジェクトの問題点の総括を通じて、今後プロジェクト管理を強化する必要がある。この問題は原材料の調達管理が甘く、ヘパボックス内に粉塵が飛散することが原因です。また、施工時のヘパボックスの隙間や塗装の剥がれもありませんでした。また、フィルター装着前の目視検査がなかったり、フィルター装着時のボルトがしっかりと締まっていなかったり、管理の甘さが見受けられました。ヘパボックスからの粉塵が主な原因だが、クリーンルームの造りがいい加減なわけがない。建設の開始から完成までのプロセス全体で品質管理と制御を実行することによってのみ、試運転段階で期待される結果を達成することができます。
投稿時間: 2023 年 9 月 1 日