クリーンルームの清浄度を達成するために必要な条件は何ですか?

クリーンルームの清浄度は、空気1立方メートル（または1立方フィート）あたりの最大許容粒子数によって決定され、一般的にクラス10、クラス100、クラス1000、クラス10000、クラス100000に分類されます。工学分野では、クリーンエリアの清浄度を維持するために、一般的に室内空気循環が用いられます。温度と湿度を厳密に管理することを前提として、空気はフィルターで濾過された後、クリーンルームに入り、室内空気は還気システムを通ってクリーンルームから出ます。その後、フィルターで濾過され、再びクリーンルームに入ります。

クリーンルームの清浄度を達成するために必要な条件：

1. 給気清浄度：給気清浄度を確保するため、クリーンルームシステムに必要なエアフィルター、特にエンドフィルターを実際のニーズに合わせて選定・設置する必要があります。一般的に、100万レベルにはHEPAフィルター、10000クラス以下ではSub-HEPAまたはHEPAフィルターが使用可能です。10000～100クラスには濾過効率99.9%以上のHEPAフィルター、100-1クラスには濾過効率99.999%以上のフィルターが使用可能です。

2. 空気分配：クリーンルームの特性とクリーンルームシステムの特性に応じて適切な空気供給方法を選択する必要があります。空気供給方法にはそれぞれ長所と短所があり、実際のニーズに合わせて設計する必要があります。

3. 給気量または風速：十分な換気量は、室内の汚染された空気を希釈・除去するために必要であり、清浄度要件によって異なります。清浄度要件が高い場合は、換気回数を適切に増やす必要があります。

4. 静圧差：クリーンルームは、クリーンルームが汚染されていないか、汚染が少ないことを保証し、その清浄度を維持するために、一定の正圧を維持する必要があります。

クリーンルームの設計は複雑なプロセスです。上記はシステム全体の概略に過ぎません。実際のクリーンルームの構築には、事前の調査、中期的には多数の冷暖房負荷計算、風量バランス計算などに加え、システム全体のバランスと合理性を確保するための合理的なエンジニアリング設計、最適化、エンジニアリング設置、試運転などが必要です。