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クリーンルームの清浄度を達成するために必要な条件は何ですか?

クリーン ルームの清浄度は、空気 1 立方メートル (または立方フィート) あたりの粒子の最大許容数によって決まり、一般にクラス 10、クラス 100、クラス 1000、クラス 10000、およびクラス 100000 に分類されます。工学では、室内空気循環通常、クリーンエリアの清浄度レベルを維持するために使用されます。温度と湿度を厳密に管理することを前提として、空気はフィルターで濾過された後にクリーンルームに入り、室内空気は還気システムを通ってクリーンルームから排出されます。その後、フィルターでろ過され、再びクリーンルームに入ります。

クリーンルームの清浄度を達成するために必要な条件:

1. 供給空気の清浄度: 供給空気の清浄度を確保するには、クリーン ルーム システムに必要なエア フィルタ、特にエンド フィルタを実際のニーズに応じて選択して設置する必要があります。一般に、hepa フィルターは 100 万レベルに使用でき、それ以下のサブ hepa または hepa フィルターはクラス 10000 に使用でき、ろ過効率 99.9% 以上の hepa フィルターはクラス 10000 ~ 100 に使用でき、ろ過効率 ≥ のフィルターを使用できます。 99.999% はクラス 100-1 に使用できます。

2. 空気分配:クリーンルームの特性やクリーンルームシステムの特性に応じて、適切な空気供給方法を選択する必要があります。さまざまな空気供給方法にはそれぞれ長所と短所があり、実際のニーズに応じて設計する必要があります。

3. 空気供給量または空気速度: 室内の汚染された空気を希釈して排除するのに十分な換気量ですが、これはさまざまな清浄度要件によって異なります。清浄度の要件が高い場合は、空気の交換の回数を適切に増やす必要があります。

4. 静圧差: クリーン ルームの清浄度を維持するために、クリーン ルームが汚染されていない、または汚染が少ないことを確認するために、クリーン ルームは一定の正圧を維持する必要があります。

クリーン ルームの設計は複雑なプロセスです。上記はシステム全体の概要です。実際のクリーンルームの構築には、事前調査、中期的な多数の冷暖房負荷計算、風量バランス計算等が必要となり、バランスとバランスを確保するための合理的な工学設計、最適化、工学的設置、試運転が必要となります。システム全体の合理性。

クリーンルーム
クリーンルームシステム
クリーンルームの設計

投稿日時: 2023 年 9 月 25 日