チップ製造業界のチップ収量は、チップに堆積した空気粒子のサイズと数と密接に関連しています。優れた空気流の組織は、クリーンルームから離れたほこりの源から生成された粒子を取り、クリーンルームの清潔さを確保することができます。つまり、クリーンルームのエアフロー組織は、チップ生産の収量において重要な役割を果たしています。クリーンルームの空気流の組織の設計で達成される目標は次のとおりです。相互汚染を防ぐための適切な陽圧勾配を維持するため。
クリーンルームの原則によれば、粒子に作用する力には、質量力、分子力、粒子間の引力、空気流力などが含まれます。
気流力：供給および戻りの気流、熱対流気流、人工攪拌、および粒子を運ぶための特定の流量でその他の気流によって引き起こされる気流の力を指します。クリーンルームの環境技術制御の場合、空気流動力が最も重要な要素です。
実験では、気流の動きでは、粒子が気流にほぼまったく同じ速度で続くことが示されています。空気中の粒子の状態は、気流分布によって決定されます。屋内粒子に対する気流の主な効果には、空気供給エアフロー（一次エアフローとセカンダリエアフローを含む）、歩行者によって引き起こされるエアフローと熱対流気流、およびプロセス作業と工業用具によって引き起こされる粒子に対する気流の影響が含まれます。さまざまな空気供給方法、速度インターフェイス、オペレーター、産業機器、誘導現象など、クリーンルームの誘導現象などは、すべて清潔さレベルに影響を与える要因です。
1。空気供給方法の影響
（1）空気供給速度
均一な空気の流れを確保するために、一方向の流れのクリーンルームの空気供給速度は均一でなければなりません。空気供給面のデッドゾーンは小さくなければなりません。また、HEPAフィルター内の圧力低下も均一でなければなりません。
空気供給速度は均一です。つまり、空気の流れの不均一性は±20％以内に制御されます。
空気供給面にはデッドスペースが少なくなります。HEPAフレームの平面エリアを縮小するだけでなく、さらに重要なことに、冗長フレームを簡素化するためにモジュラーFFUを使用する必要があります。
空気の流れが垂直で一方向性であることを確認するために、フィルターの圧力降下選択も非常に重要であり、フィルター内の圧力損失に偏らないことが必要です。
（2）FFUシステムと軸流ファンシステムの比較
FFUは、ファンとHEPAフィルターを備えた空気供給ユニットです。空気はFFUの遠心扇風機によって吸い込まれ、動的圧力を空気ダクトの静圧に変換します。 HEPAフィルターによって均等に吹き飛ばされます。天井の空気供給圧は負の圧力です。このようにして、フィルターを交換すると、クリーンルームにほこりが漏れません。実験により、FFUシステムは、空気出口の均一性、空気流並列性、換気効率指数の観点から、軸流ファンシステムよりも優れていることが示されています。これは、FFUシステムの空気流並列性が優れているためです。 FFUシステムを使用すると、クリーンルームの空気流整理が改善できます。
（3）FFU自身の構造の影響
FFUは、主にファン、フィルター、エアフローガイド、その他のコンポーネントで構成されています。 HEPAフィルターは、設計に必要な清潔さを実現するために、クリーンルームの最も重要な保証です。フィルターの材料は、フローフィールドの均一性にも影響します。粗いフィルター材料またはフロープレートがフィルターアウトレットに追加されると、出口の流れ場は簡単に均一になります。
2。異なる清潔さを伴う速度インターフェースの影響
同じクリーンルームで、作業エリアと垂直方向の流れのない非労働領域の間で、HEPAボックスでの気道の違いにより、インターフェイスで混合渦効果が発生し、このインターフェイスは乱流になりますエアフローゾーン。空気乱流の強度は特に強く、粒子は機器機械の表面に伝染し、機器とウェーハを汚染する可能性があります。
3。スタッフと機器への影響
クリーンルームが空の場合、部屋の空気流の特性は一般に設計要件を満たしています。機器がクリーンルームに入り、人々が移動し、製品が輸送されると、機器から突き出ている鋭いポイントなど、エアフロー組織に必然的に障害があります。角や端では、ガスが迂回して乱流の流れ領域を形成し、その領域の液体は入ってくるガスによって簡単に運ばれることはないため、汚染を引き起こします。
同時に、連続動作により機械装置の表面が加熱され、温度勾配が機械の近くに反射領域を引き起こし、リフロー領域の粒子の蓄積を増加させます。同時に、高温が粒子を容易に逃がします。デュアル効果は、全体的な垂直層を強化します。ストリームの清潔さを制御することの難しさ。クリーンルームのオペレーターからのほこりは、これらのリフローエリアのウェーハに簡単に接着できます。
4。復帰エアフロアの影響
床を通過する帰還空気の抵抗が異なる場合、圧力差が発生し、空気が小さな抵抗の方向に流れ、均一な空気の流れは得られません。現在の人気のある設計方法は、高架床を使用することです。高架床の開口比が10％の場合、空気の流速は屋内作業高さで均等に分布できます。さらに、床の汚染源を減らすために、清掃作業に厳しい注意を払う必要があります。
5。誘導現象
いわゆる誘導現象は、均一な流れとは反対方向に気流を生成する現象を指し、隣接する汚染された領域で部屋またはほこりで生成されたほこりを誘導し、それによってダストがウェーハを汚染します。可能な誘導現象には、以下が含まれます。
（1）ブラインドプレート
壁の関節があるため、垂直方向の一方向の流れがあるクリーンルームには、一般に乱流と局所的な逆流を生成する大きなブラインドパネルがあります。
（2）ランプ
クリーンルームの照明器具は大きな影響を与えます。蛍光ランプの熱により気流が上昇するため、蛍光灯は乱流領域になりません。一般的に、クリーンルームのランプは、エアフロー組織に対するランプの影響を減らすために、ティアドロップ形状で設計されています。
（3）壁の間の隙間
パーティションの壁や清潔な要件が異なる天井の間に隙間がある場合、清潔な要件が低いエリアからのほこりを、清潔な要件が高い隣接するエリアに転送できます。
（4）機械装置と床または壁の間の距離
機械装置と床または壁の間のギャップが小さい場合、リバウンド乱流が発生します。したがって、機器と壁の間にギャップを残し、地面との直接接触を避けるために機械プラットフォームを上げます。
投稿時間：11月2日 - 2023年