電子クリーンルームにおける個人の浄化要件

1. クリーンルームの規模と空気清浄度に応じて人員浄化のための部屋と設備を設置し、居室を設置する。

2. 人員浄化室は、靴の履き替え、上着の着替え、作業着の清掃等の必要に応じて設置すること。雨具置き場、トイレ、洗面所、シャワー室、休憩室等の居室及び休憩室その他、エアシャワー室、エアロック室、クリーン作業服洗浄室、乾燥室など必要に応じて設置可能です。

3. クリーンルーム内の人員浄化室および居室の建設面積は、クリーンルームの規模、空気清浄度およびクリーンルーム内の従業員の数に基づいて決定する必要があります。クリーンルーム内で設計される平均人数に基づく必要があります。

4. 職員用浄化室および居室の設定は、次の規定に従う必要があります。

(1) 靴洗浄設備はクリーンルームの入口に設置すること。

(2) 上着の着替えと清潔な更衣室を同じ部屋に設けないこと。

(3) コート保管キャビネットは、クリーンルーム内の設計人数に従って構成する必要があります。

(4) 清潔な作業服を保管し、空気清浄機能を備えた衣類保管施設を設置する必要があります。

(5) 誘導式手洗いおよび乾燥設備を設置する必要があります。

(6) トイレは浄化室に入る前に設置してください。人員浄化室に設置する必要がある場合は、前室を設置する必要があります。

5. クリーンルーム内のエアシャワー室の設計は、次の要件を満たす必要があります。

①クリーンルーム入口にエアシャワーを設置してください。エアシャワーがない場合はエアロック室を設置してください。

② エアシャワーは清潔な作業服に着替えた後、隣接するエリアに設置してください。

③最大クラス30名ごとに一人用エアシャワーを設置すること。クリーンルーム内に5人以上の作業者がいる場合は、エアシャワーの片側に一方通行のバイパスドアを設置する必要があります。

④エアシャワーの入口と出口を同時に開かず、チェーン規制措置を講じてください。

⑤ 空気清浄度 ISO 5 以上の垂直一方向流クリーンルームにはエアロック室を設置すること。

6.人員浄化室と居室の空気清浄度は外側から内側に向​​かって段階的に浄化され、hepaエアフィルターで濾過されたきれいな空気がクリーンルームに送られます。

クリーン作業服更衣室の空気清浄度は、隣接するクリーンルームの空気清浄度よりも低くなければなりません。清潔な作業服洗浄室がある場合、洗浄室の空気清浄度レベルは ISO 8 でなければなりません。