電子クリーンルームにおける人員浄化要件

1.クリーンルームの規模、空気清浄度に応じて人員浄化用の部屋や設備を設け、居住室を設ける。

2. 人員浄化室は、靴の履き替え、上着の着替え、作業服の清潔など、必要に応じて設置します。雨具置き場、トイレ、洗面所、シャワー室、休憩室などの居室、エアシャワー室、エアロック室、清潔作業服洗濯室、乾燥室などの部屋も必要に応じて設置できます。

3. クリーンルーム内の人員浄化室および居室の建築面積は、クリーンルームの規模、空気清浄度、およびクリーンルーム内の人員数に基づいて決定する必要があります。また、クリーンルームに設計される平均人数に基づいて決定する必要があります。

4. 人員浄化室および居住室の設定は、以下の規定に従う必要があります。

（１）クリーンルームの入口に靴洗浄設備を設ける。

（２）上着の着替え場所と清潔更衣室を同じ部屋に設けないこと。

（３）コート収納キャビネットはクリーンルーム内の設計人数に応じて配置する必要がある。

（４）清潔な作業服を保管し、空気清浄機能を備えた衣類保管施設を設ける。

（５）誘導手洗いおよび乾燥設備を設ける。

（6）トイレは職員浄化室に入る前に設置すること。職員浄化室に設置する必要がある場合は、前室を設けること。

5.クリーンルーム内のエアシャワー室の設計は、以下の要件を満たす必要があります。

①クリーンルーム入口にはエアシャワーを設置する。エアシャワーがない場合は、エアロック室を設ける。

②清潔な作業衣に着替えた後、隣接した場所にエアシャワーを設置する。

③最大クラスでは、30人ごとに1人用エアシャワーを設置する。クリーンルーム内に5人以上の作業者がいる場合は、エアシャワーの片側に一方通行のバイパスドアを設置する。

④エアシャワーの入口と出口は同時に開けず、連鎖制御措置を講じる必要があります。

⑤空気清浄度がISO5以上の垂直一方向フロークリーンルームには、エアロック室を設けること。

6. 人員浄化室および居住室の空気清浄レベルは、外部から内部に向かって徐々に浄化され、HEPA空気フィルターによって濾過されたきれいな空気がクリーンルームに送り込まれます。

クリーン作業衣更衣室の空気清浄度は隣接するクリーンルームの空気清浄度より低くする必要があり、クリーン作業衣洗濯室がある場合は洗濯室の空気清浄度は ISO 8 にする必要があります。