電子クリーンルームの照明要件

1. 電子クリーンルームの照明は一般的に高い照度が必要ですが、設置できるランプの数はHEPAボックスの数と配置によって制限されます。そのため、同じ照度値を達成するには、最小限のランプ数を設置する必要があります。蛍光灯の発光効率は一般的に白熱灯の3～4倍であり、発熱量が少ないため、エアコンの省エネにつながります。また、クリーンルームには自然光がほとんど入りません。光源を選択する際には、その分光分布が自然光にできるだけ近いことも考慮する必要があります。蛍光灯は基本的にこの要件を満たすことができます。そのため、現在、国内外のクリーンルームでは、照明光源として蛍光灯が一般的に使用されています。床高の高いクリーンルームでは、一般的な蛍光灯では設計照度値を達成することが困難です。このような場合、光色が良く、照明効率の高い他の光源を使用できます。一部の製造工程では光源の光色に特別な要件があるため、または蛍光灯が製造工程や試験装置に干渉する場合は、他の形式の光源を使用することもできます。

2. クリーンルームの照明設計において、照明器具の設置方法は重要な課題の一つです。クリーンルームの清浄度を維持するための3つの重要なポイント：

（１）適切なHEPAフィルターを使用する。

（２）空気の流れを解き、室内と屋外の圧力差を維持する。

（３）屋内を汚染から守る。

したがって、清浄度を維持する能力は、主に浄化空調システムと選択された機器、そしてもちろん、スタッフやその他の物体からの塵埃源の除去に依存します。周知のように、照明器具は塵埃の主な発生源ではありませんが、不適切な設置により、塵埃粒子が器具の隙間から侵入します。天井に埋め込まれた隠蔽設置されたランプは、建設時に建物とのマッチングに大きな誤差が生じることが多く、密閉性が不十分になり、期待された効果が得られないことが実践で証明されています。さらに、投資額が大きく、発光効率が低いという問題もあります。実践とテストの結果、非一方向の流れにおいて、クリーンルームでは照明器具を表面に設置しても清浄度レベルは低下しないことが示されています。

3. 電子クリーンルームでは、ランプをクリーンルーム天井に設置することが望ましいですが、床面の高さによってランプの設置が制限される場合や、特殊なプロセスで隠蔽設置が必要な場合は、塵埃がクリーンルーム内に侵入するのを防ぐため、密閉する必要があります。ランプの構造により、ランプ管の清掃や交換が容易になります。

避難者が移動方向を確認し、事故現場から迅速に避難できるよう、安全出口、避難口、避難通路の角に標識灯を設置します。消防士が消火活動のためにクリーンルームに間に合うよう、専用の非常口に赤色の非常灯を設置します。