研究室のクリーンルーム システムと空気の流れ

研究室のクリーンルームは完全に密閉された環境です。空調の給気システムと還気システムの一次フィルター、中間フィルター、およびヘパフィルターを通して、室内の周囲空気が継続的に循環および濾過され、浮遊粒子が一定の濃度に制御されるようにします。実験室用クリーンルームの主な機能は、製品 (シリコン チップなど) がさらされる雰囲気の清浄度、温度、湿度を制御し、製品を良好な環境でテストおよび科学研究できるようにすることです。したがって、ラボ用クリーンルームは通常、ウルトラクリーンラボなどとも呼ばれます。

1. 研究室用クリーンルーム システムの説明:

気流 → 一次浄化 → 空調 → 媒体浄化 → ファン給気 → ダクト → ヘパボックス → 室内吹き込み → 塵・菌・その他の粒子を除去 → 戻り気柱 → 一次浄化…（上記の繰り返し）

2.実験室用クリーンルームの気流形態：

① 一方向のクリーンエリア（水平および垂直の流れ）。

② 非一方向クリーンエリア。

③混合クリーンエリア。

④リング・隔離装置

斜流クリーンエリアはISO国際規格で提案されており、既存の非一方向流クリーンルームに局所的な一方向流クリーンベンチ/層流フードを設置し、重要部品を「点」または「線」で保護します。一方向流のクリーンエリアの面積を減らすために。

3. 実験室用クリーンルームの主な管理項目

① 空気中に浮遊する塵埃を除去する。

②粉塵の発生を防止する。

③ 温度と湿度を管理する。

④ 空気圧を調整します。

⑤有害ガスを排除する。

⑥ 構造物及び区画の気密性を確保する。

① 静電気を防ぐ。

⑧ 電磁妨害を防止する。

⑨ 安全係数。

⑩ 省エネに配慮します。

4. DCクリーンルーム空調システム

① DC方式はエネルギー消費の大きい還気循環方式、すなわち直接送気直接排気方式を採用しておりません。

② このシステムは一般に、アレルギー誘発性の生産プロセス（ペニシリン包装プロセスなど）、実験動物室、バイオセーフティクリーンルーム、および相互汚染生産プロセスを形成する可能性のある実験室に適しています。

③ このシステムを使用する場合には、廃熱の回収について十分に考慮する必要があります。

4.全循環クリーンルーム空調システム

① 全循環方式とは、外気の給気や排気を行わない方式です。

② このシステムには外気負荷がなく、非常に省エネですが、室内空気の質が悪く、圧力差の制御が困難です。

③ 一般に、操作や警備のないクリーンルームに適しています。

5. 部分循環クリーンルーム空調システム

① 最も一般的に使用されるシステム形式で、還気の一部が循環に参加するシステムです。

② 外気と還気を混合処理して無塵クリーンルームへ送るシステムです。戻り空気の一部はシステム循環に使用され、残りの部分は排気されます。

③ このシステムは圧力差の制御が容易で、室内品質が良好で、エネルギー消費量は直流システムと完全循環システムの中間に位置します。

④戻り空気を使用する生産工程に適しています。