実験室クリーンルームシステムと空気の流れ

実験室用クリーンルームは完全に密閉された環境です。空調給気・還気システムの一次フィルター、中間フィルター、HEPAフィルターを通して、室内の周囲空気が継続的に循環・濾過され、浮遊粒子が一定濃度に制御されます。実験室用クリーンルームの主な機能は、製品（シリコンチップなど）が触れる雰囲気の清浄度、温度、湿度を制御し、良好な環境で製品の試験や科学研究を行うことです。そのため、実験室用クリーンルームは通常、超清浄実験室などとも呼ばれます。

1. 実験室クリーンルームシステムの説明：

気流→一次浄化→空調→中浄化→ファン給気→ダクト→HEPAボックス→室内への吹き込み→埃、バクテリア、その他の粒子の除去→空気柱の戻り→一次浄化…（上記のプロセスを繰り返す）

2.実験室クリーンルームの気流形態：

① 一方向クリーンエリア（水平・垂直方向の流れ）

②非一方向クリーンエリア

③ 混合清潔区域

④ リング/隔離装置

混合流クリーンエリアはISO国際規格で提案されており、既存の非一方向流クリーンルームに局所的な一方向流クリーンベンチ/層流フードを設置して、重要部品を「点」または「線」方式で保護することで、一方向流クリーンエリアの面積を削減します。

3. 実験室クリーンルームの主な管理項目

① 空気中に浮遊する塵埃を除去する。

②粉塵の発生を防止する。

③ 温度と湿度を管理する

④ 空気圧を調整する。

⑤ 有害ガスを除去する

⑥ 構造物及び区画内の気密性を確保する。

① 静電気を防止する。

8.電磁干渉を防止する。

⑨ 安全係数；

⑩ 省エネに配慮する。

4. DCクリーンルーム空調システム

① DC方式は、大量のエネルギーを消費する戻り空気循環システム、すなわち直接送出・直接排気システムを採用していません。

② このシステムは、アレルギー性製造工程（ペニシリン包装工程など）、実験動物室、バイオセーフティクリーンルーム、交差汚染製造工程が発生する可能性のある実験室など、一般的に適しております。

③本システムを使用する場合には、廃熱回収に十分配慮する必要があります。

4. 全循環クリーンルーム空調システム

①全循環方式とは新鮮な空気の供給や排気を行わない方式です。

② このシステムは外気負荷がなく、省エネ性に優れていますが、室内の空気質が悪く、圧力差を制御するのが難しいです。

③ 一般的に、操作や警備が行われていないクリーンルームに適しています。

5. 部分循環クリーンルーム空調システム

① 最も一般的に使用されているシステム形態で、戻り空気の一部が循環に参加するシステムです。

② このシステムでは、新鮮な空気と還気を混合・処理し、無塵クリーンルームへ送ります。還気の一部はシステム循環に利用され、残りは排気されます。

③ このシステムは圧力差の制御が容易で、室内の質が良く、エネルギー消費量は直流システムと全循環システムの間にあります。

④ 戻り空気を利用できる生産プロセスに適しています。