電子クリーンルームにおける静電気防止入門

電子クリーンルームでは、電子製品の製造工程の要件に応じて静電気環境に対する対策が施されており、主に電子部品、アセンブリ、機器、および静電気放電に敏感な装置の製造および操作場所となります。操作場所としては、梱包、伝送、試験、組立、およびこれらの作業に関連する活動が含まれます。また、各種電子計算機室、各種電子機器実験室、制御室など、静電気放電に敏感な電子機器、機器、および設備を備えた応用場所も含まれます。電子クリーンルームでは、電子製品の製造、試験、および試験場所に対してクリーン環境要件が設けられています。静電気の存在はクリーン技術の期待される目標に影響を与えるため、規制に従って実施する必要があります。

静電気防止環境設計において採用すべき主な技術的対策は、静電気の発生を抑制または低減し、効果的かつ安全に静電気を除去する対策から始める必要があります。

静電気防止床は、静電気防止環境制御の重要な部分です。静電気防止床表面層の種類を選択する際には、まず様々な電子製品の製造工程の要件を満たす必要があります。一般的に、静電気防止床には、静電気導電性上げ床、静電気拡散性上げ床、ベニヤ板床、樹脂コーティング床、テラゾー床、可動式フロアマットなどがあります。

静電気防止エンジニアリング技術の発展とエンジニアリング実践経験に伴い、静電気防止エンジニアリング分野では、表面抵抗値、表面抵抗率、または体積抵抗率が寸法単位として用いられるようになりました。近年、国内外で制定された規格においても、すべて寸法単位が用いられています。