粒子の源は、無機粒子、有機粒子、および生きている粒子に分けられます。人体の場合、呼吸器疾患や肺疾患を引き起こすのは簡単であり、アレルギーやウイルス感染を引き起こす可能性もあります。シリコンチップの場合、ダスト粒子の付着により、統合回路回路の変形または短絡が発生し、チップが動作機能を失うため、微小汚染源の制御がクリーンルーム管理の重要な部分になりました。
クリーンルームの環境管理の重要性は、生産プロセスの環境条件が特定の清潔さの基準を満たすことを保証することにあります。これは多くの業界にとって重要です。以下は、クリーンルームの環境制御の重要性と特定の役割です。
1.製品の品質を確保します
1.1汚染の防止：半導体、医薬品、医療機器などの産業では、小さな粒子汚染物質が製品の欠陥や障害を引き起こす可能性があります。クリーンルームの大気質と粒子濃度を制御することにより、これらの汚染物質は、製品に影響を与えることを効果的に防ぐことができます。
最初のハードウェア機器の投資に加えて、クリーンルームの清潔さのメンテナンスと制御には、優れた清潔さを維持するために優れた「ソフトウェア」管理システムも必要です。オペレーターは、クリーンルームの清潔さに最も大きな影響を与えます。オペレーターがクリーンルームに入ると、ほこりが大幅に増加します。前後に歩いている人がいると、清潔さはすぐに悪化します。清潔さの悪化の主な理由は人的要因であることがわかります。
1.2一貫性：クリーンルーム環境は、生産プロセスの一貫性と再現性を維持するのに役立ち、それにより安定した製品品質を確保します。
ガラス基板に関しては、ダスト粒子の接着は、ガラス基板、短絡および泡、およびその他の不十分なプロセス品質に傷を引き起こし、廃棄を引き起こします。したがって、汚染源の制御は、クリーンルーム管理の重要な部分になりました。
外部ダストの侵入と予防
クリーンルームは、適切な陽圧（> 0.5mm/hg）を維持し、予備建設プロジェクトで良い仕事をして、空気の漏れを確保しないようにし、以前に人員、機器、原材料、ツール、消耗品などをきれいにして拭く必要があります。それらをクリーンルームに持ち込みます。同時に、クリーニングツールを適切に配置および交換または定期的に清掃する必要があります。
クリーンルームでのほこりの生成と予防
パーティションボードや床などのクリーンルームの材料の適切な選択、プロセス機器の粉塵生成の制御、つまり定期的なメンテナンスと清掃、生産担当者は、場所で歩き回ったり、大きな身体の動きをしたりすることはできません。粘着マットは特別なステーションで撮影されます。
2。生産効率を改善します
2.1スクラップ率の低下：生産プロセスで不純物と汚染物質を減らすことにより、スクラップ率を低下させ、降伏率を上げることができ、したがって生産効率を改善することができます。
たとえば、ウェーハ生産には600のステップがあります。各プロセスの利回りが99％の場合、600プロセス手順の全体的な利回りはいくらですか？回答：0.99600 = 0.24％。
プロセスを経済的に実行可能にするために、各ステップの収量はどれくらい高いですか？
•0.999600 = 54.8％
•0.9999600 = 94.2％
各プロセス利回りは、99.99％以上に達する必要があります。最終的なプロセスの収率は90％を超え、微粒子の汚染はプロセスの収量に直接影響します。
2.2プロセスの加速：清潔な環境での作業は、不必要なクリーニングと再加工時間を短縮することができ、生産プロセスをより効率的にします。
3.人員の健康と安全を確保します
3.1労働衛生：有害な物質を放出する可能性のある一部の生産プロセスでは、クリーンルームは有害な物質が外部環境に拡散するのを防ぎ、労働者の健康を保護することができます。人類の開発以来、技術、機器、知識は改善されましたが、大気質は後退しています。人は生涯で約270,000 m3の空気を吸い込み、屋内で70％から90％を費やしています。小さな粒子は人体によって吸入され、呼吸器系に堆積されます。 5〜30umの粒子は鼻咽頭に堆積し、1〜5umの粒子が気管と気管支に堆積し、1um未満の粒子は肺胞壁に堆積します。
長い間新鮮な空気量が不十分な部屋にいる人は、頭痛、胸部の緊張、疲労などの症状がある「屋内症候群」になりやすく、呼吸器系および神経系の疾患も発生しやすいです。私の国の国家標準GB/T18883-2002は、新鮮な空気量が30m3/h未満であってはならないことを規定しています。人。
クリーンルームの新鮮な空気量は、次の2つのアイテムの最大値を取得する必要があります。
a。屋内の排気量を補償し、屋内の正の圧力値を確保するために必要な空気量の合計。
b。クリーンルームのスタッフが必要とする新鮮な空気を確保してください。クリーンルームの設計仕様によると、1時間あたり1人あたりの新鮮な空気量は40m3以上です。
3.2安全な生産：湿度や温度などの環境パラメーターを制御することにより、生産の安全性を確保するために静電放電などの安全上の危険を回避できます。
4.規制および標準的な要件を満たします
4.1業界基準：多くの産業には厳格な清潔さの基準（ISO 14644など）があり、特定の成績のクリーンルームで生産を実施する必要があります。これらの基準へのコンプライアンスは、規制当局の要件だけでなく、企業の競争力の反映でもあります。
きれいなワークベンチ、クリーンシェッド、ラミナーフロートランスファーウィンドウ、ファンフィルターユニットFFU、クリーンワードローブ、ラミナーフローフード、重量のフード、クリーンスクリーン、セルフクリーナー、エアシャワーシリーズ製品の場合、清潔さのテストのテストを標準化する必要があります製品の信頼性を改善するための既存の製品。
4.2認定と監査：サードパーティ認定機関の監査に合格し、関連する認定（GMP、ISO 9001など）を取得して、顧客の信頼を高め、市場アクセスを拡大します。
5。技術革新を促進します
5.1 R＆Dサポート：クリーンルームは、ハイテク製品開発のための理想的な実験環境を提供し、新製品の開発を加速するのに役立ちます。
5.2プロセスの最適化：厳密に制御された環境では、プロセスの変化が製品のパフォーマンスに与える影響を観察して分析し、それによりプロセスの改善を促進することが容易になります。
6.ブランドイメージを強化します
6.1品質保証：高標準のクリーン生産施設を持つことで、ブランドイメージを強化し、製品の品質に対する顧客の信頼を高めることができます。
6.2市場の競争力：クリーンな環境で生産できる製品は、多くの場合、高品質で高い信頼性の象徴と見なされており、企業が激しい市場競争で際立っています。
7.修理とメンテナンスのコストを削減します
7.1機器の寿命：清潔な条件下で動作する生産機器とツールは、腐食や摩耗の影響を受けにくく、それによりサービスの寿命を延ばし、メンテナンスの頻度とコストを削減します。
7.2エネルギー消費の削減：クリーンルームの設計と管理を最適化することにより、エネルギー効率を向上させ、エネルギー消費と運用コストを削減します。
クリーンルームの運用管理の4つの原則：
1。持ち込まないでください：
HEPAフィルターのフレームは漏れることができません。
設計された圧力は屋内で維持する必要があります。
オペレーターは衣服を交換し、エアシャワーの後にクリーンルームに入る必要があります。
すべての材料、機器、およびツールを持ち込む前に清掃する必要があります。
2。生成しないでください：
人々はほこりのない服を着なければなりません。
不必要なアクションを減らします。
ほこりを生成しやすい材料を使用しないでください。
不要なアイテムを持ち込むことはできません。
3。蓄積しないでください：
掃除や清掃が難しいコーナーや機械周辺はないはずです。
露出した空気ダクト、水道管などを最小限に抑えてみてください。
クレンジングは、標準的な方法と指定された時間に従って実行する必要があります。
4。すぐに削除：
空気の変化の数を増やします。
ほこりの生成部分の近くの排気。
エアフローの形状を改善して、ほこりが製品に付着するのを防ぎます。
要するに、クリーンルームの環境制御は、製品の品質を確保し、生産効率を改善し、人員の健康と安全を保護し、規制要件を満たし、技術革新を促進し、ブランドイメージを強化する上で非常に重要です。企業は、クリーンルームを構築および維持する際にこれらの要因を完全に考慮して、クリーンルームが生産とR＆Dのニーズを満たすことができるようにする必要があります。
投稿時間：2月12日 - 2025年