クリーンルーム内の適切な供給空気量はどれくらいですか？

クリーンルームにおける適切な給気量は一定ではなく、清浄度、面積、高さ、作業員数、クリーンルームのプロセス要件など、複数の要因によって異なります。以下は、様々な要因を総合的に考慮した一般的なガイドラインです。

1. 清潔度

清浄度レベルに応じた換気回数の決定：クリーンルームにおける換気回数は、給気量を決定する重要な要素の一つです。関連規制によると、清浄度レベルによって換気回数の要件は異なります。例えば、クラス1000クリーンルームでは50回/時以上、クラス10000クリーンルームでは25回/時以上、クラス100000クリーンルームでは15回/時以上です。これらの換気回数は静的な要件であり、実際の設計ではクリーンルームの清浄度を確保するために、ある程度の余裕を持たせる場合があります。

ISO 14644規格：この規格は、クリーンルームの風量および風速に関する国際的に広く使用されている規格の一つです。ISO 14644規格によれば、クリーンルームのレベルによって風量と風速の要件が異なります。例えば、ISO 5クリーンルームでは風速0.3～0.5m/s、ISO 7クリーンルームでは風速0.14～0.2m/sが求められます。これらの風速要件は給気量と完全に一致するものではありませんが、給気量を決定するための重要な基準となります。

2. 作業場の面積と高さ

クリーンワークショップの容積を計算します：給気量を計算する際には、ワークショップの面積と高さを考慮して、ワークショップ全体の容積を決定する必要があります。V = 長さ*幅*高さという式を使用して、ワークショップの容積を計算します（Vは立方メートル単位の容積です）。

空気供給量を空気交換回数と組み合わせて計算します。作業場容積と必要な空気交換回数に基づいて、式 Q = V*n を使用して供給空気量を計算します (Q は立方メートル/時単位の供給空気量、n は空気交換回数です)。

3. 人員とプロセスの要件

人員当たりの新鮮空気量要件：クリーンルーム内の人員数に応じて、1人当たりの必要新鮮空気量（通常、1人当たり1時間あたり40立方メートル）に基づいて総新鮮空気量を算出します。この新鮮空気量は、作業場の容積と換気回数に基づいて算出された給気量に加算する必要があります。

プロセス排気量補正：クリーンルーム内に排気が必要なプロセス機器がある場合、クリーンな作業場内の空気バランスを維持するために、機器の排気量に応じて供給空気量を補正する必要があります。

4. 供給空気量の総合的な決定

様々な要因の総合的考慮：クリーンルームの給気量を決定する際には、上記の全ての要因を総合的に考慮する必要があります。各要因は相互に影響し、制約を受ける可能性があるため、総合的な分析とトレードオフが必要です。

スペースの確保：クリーンルームの清浄度と動作安定性を確保するため、実際の設計では一定の風量余裕が確保されることが多く、これにより緊急事態やプロセス変更による供給風量への影響にある程度対応できます。

まとめると、クリーンルームの給気量には適切な固定値はなく、クリーン作業場の具体的な状況に応じて総合的に決定する必要があります。実際の運用においては、給気量の合理性と有効性を確保するために、専門のクリーンルームエンジニアリング会社に相談することをお勧めします。