クリーンルームの誕生
すべてのテクノロジーの出現と発展は、生産のニーズによるものです。クリーンルーム技術も例外ではありません。第二次世界大戦中、航空機航行用に米国で製造されたエアベアリング ジャイロスコープは、品質が不安定だったために、10 個のジャイロスコープごとに平均 120 回も再加工する必要がありました。 1950 年代初頭の朝鮮半島戦争中、米国の 160,000 台の電子通信機器の 100 万個以上の電子部品が交換されました。レーダーの故障は 84% の確率で発生し、海底ソナーの故障は 48% の確率で発生しました。その理由は、電子機器や部品の信頼性が低く、品質が不安定だからです。軍とメーカーは原因を調査し、最終的には不潔な生産環境に関連していると多面的に判断した。費用は惜しまず、生産工場を閉鎖するためにさまざまな厳格な措置が講じられましたが、結果は最小限に抑えられました。こうしてクリーンルームの誕生です！
クリーンルーム開発
第 1 段階: 1950 年代初頭までは、人体に有害な放射性粉塵を捕捉する問題を解決するために 1951 年に米国原子力委員会によって開発に成功した HEPA 高効率微粒子エアフィルターが供給システムに適用されていました。制作ワークショップの様子。空気濾過はまさに現代的な意味を持つクリーンルームを誕生させました。
第 2 段階: 1961 年、米国サンディア国立研究所の主任研究員であるウィリス ホイットフィールドは、当時層流と呼ばれていたものを提案しました。現在は一方向流と呼ばれています。 （一方向の流れ）クリーンエアフローの組織計画と実際のプロジェクトへの適用。それ以来、クリーンルームは前例のないレベルの清浄度に達しました。
第 3 段階: 同年、米国空軍は世界初のクリーン ルーム規格 TO-00-25--203 空軍指令「クリーン ルームおよびクリーン ベンチの設計および運用特性に関する規格」を策定、発行しました。これに基づいて、クリーンルームを 3 つのレベルに分けた米国連邦規格 FED-STD-209 が 1963 年 12 月に発表されました。これまでに、完璧なクリーン ルーム技術の原型が形成されました。
上記の 3 つの主要な進歩は、現代のクリーン ルーム開発の歴史における 3 つのマイルストーンとしてよく称賛されます。
1960 年代半ば、米国のさまざまな産業部門にクリーン ルームが出現しました。軍事産業だけでなく、エレクトロニクス、光学、マイクロベアリング、マイクロモーター、感光性フィルム、超高純度化学試薬などの産業分野でも活用され、科学技術と産業の発展に大きな役割を果たしました。その時。そのために、以下では国内と海外について詳しく紹介します。
開発比較
海外: 1950 年代初頭、人体に有害な放射性粉塵を捕集する問題を解決するために、米国原子力委員会は 1950 年に高効率粒子エアフィルター (HEPA) を導入しました。これが世界における最初のマイルストーンとなりました。クリーンテクノロジーの発展の歴史。 1960年代、米国の電子精密機械などの工場にクリーンルームが設置されるようになった。同時に、工業用クリーンルーム技術を生物学的クリーンルームに移植するプロセスが始まりました。 1961年には層流（一方向流）クリーンルームが誕生しました。世界最古のクリーンルーム基準である米国空軍技術ドクトリン 203 が策定されました。 1970 年代初頭、クリーン ルーム建設の焦点は医療、製薬、食品、生化学産業に移り始めました。米国のほか、日本、ドイツ、英国、フランス、スイス、旧ソ連、オランダなどの先進工業国もクリーンテクノロジーを重視し、精力的に開発を進めている。 1980年代以降、米国と日本は、ろ過目標が0.1μmで捕集効率が99.99％の新しいウルトラhepaフィルターの開発に成功した。最終的に、0.1μmレベル10と0.1μmレベル1のウルトラhepaクリーンルームが建設され、クリーン技術の発展は新たな時代を迎えました。
中国: 1960 年代初頭から 1970 年代後半までの 10 年間は、中国のクリーン ルーム技術の開始および基礎段階でした。海外より約10年遅い。経済が低迷し、強国外交も行われなかった、非常に特殊で困難な時代でした。このような困難な状況下で、精密機械、航空計装、電子産業のニーズを背景に、中国のクリーンルーム技術従事者は独自の起業家としての道を歩み始めました。 1970 年代後半から 1980 年代後半にかけて、中国のクリーン ルーム技術は輝かしい発展段階を迎えました。中国のクリーンルーム技術の発展過程において、多くの画期的で重要な成果は、ほぼすべてこの段階で生まれました。指標は1980年代の諸外国の技術レベルに達しています。 1990 年代初頭から現在に至るまで、中国経済は安定かつ急速な成長を維持し、国際投資が注入され続け、多くの多国籍グループが中国に多数のマイクロエレクトロニクス工場を次々と建設してきました。そのため、国内の技術者や研究者は、海外の高度なクリーンルームの設計思想に直接触れ、世界の先進的な設備や装置、管理・メンテナンスなどを理解する機会が増えています。
科学技術の発展に伴い、中国のクリーンルーム企業も急速に発展しています。人々の生活水準は向上し続けており、生活環境や生活の質に対する要求はますます高くなっています。クリーンルーム工学技術は徐々に家庭用空気浄化に応用されてきました。現在、中国のクリーンルームプロジェクトは、エレクトロニクス、電化製品、医療、食品、科学研究、その他の産業に適しているだけでなく、家庭、公共娯楽施設、教育機関などでも使用される可能性が高い。科学技術の進歩により、クリーン ルーム エンジニアリング会社は徐々に数千の家庭に広がりました。国内のクリーンルーム機器業界の規模も日に日に成長し、クリーンルームエンジニアリングの効果を少しずつ享受し始めています。
投稿日時: 2023 年 9 月 20 日