クリーンルームにおけるプロセス機器の設置は、クリーンルームの設計と機能に基づいて行う必要があります。以下に詳細をご紹介します。
1. 設備の設置方法：理想的な方法は、設備の設置期間中はクリーンルームを閉鎖し、設備の視野角に合うドアを設けるか、新しい設備が通過してクリーンルームに入るための通路を確保して、設置期間近くのクリーンルームが汚染されるのを防ぐことです。クリーンルームが依然として清浄度要件を満たし、その後の必要な作業を確実に実行できるように、保護対策を講じる必要があります。
2. 設置期間中にクリーンルーム内での作業を停止できない場合、または解体が必要な構造物がある場合は、稼働中のクリーンルームを作業エリアから効果的に隔離する必要があります。そのためには、一時的な隔離壁または仕切りを使用できます。設置作業を妨げないように、機器の周囲に十分なスペースを確保する必要があります。条件が許せば、サービスチャネルまたはその他の重要でないエリアから隔離エリアにアクセスできます。これが不可能な場合は、設置作業による汚染の影響を最小限に抑えるための対策を講じる必要があります。隔離エリアは等圧または負圧を維持する必要があります。周囲のクリーンルームへの正圧を避けるため、高層エリアではクリーンエアの供給を遮断する必要があります。隣接するクリーンルームからのみ隔離エリアにアクセスする場合は、靴についた汚れを粘着パッドで取り除く必要があります。
3. 高所エリアに入った後は、クリーンルームの汚染を防ぐため、使い捨てのブーツまたはオーバーシューズ、およびワンピース作業服を使用できます。これらの使い捨てアイテムは、隔離エリアを出る前に脱ぐ必要があります。機器の設置プロセス中に隔離エリア周辺のエリアを監視する方法を開発し、監視頻度を決定して、隣接するクリーンルームに漏れる可能性のある汚染を確実に検出する必要があります。隔離措置を設置した後、電気、水道、ガス、真空、圧縮空気、廃水パイプラインなど、必要なさまざまな公共サービス施設を設置することができます。作業で発生する煙や破片を可能な限り制御および隔離し、周囲のクリーンルームへの不注意な拡散を防ぐように注意する必要があります。また、隔離バリアを取り外す前に効果的な清掃を容易にする必要があります。公共サービス施設が使用要件を満たした後、規定の清掃手順に従って隔離エリア全体を清掃および除染する必要があります。すべての壁、機器（固定および可動式）、床を含むすべての表面は、掃除機をかけ、拭き取り、モップがけする必要があります。特に、機器ガードの後ろや機器の下の領域を清掃する際には注意が必要です。
4. クリーンルームおよび設置された機器の実際の状況に基づいて機器の性能に関する予備試験を実施できますが、その後の受入試験はクリーン環境の条件が完全に満たされた時点で実施する必要があります。設置場所の状況に応じて、隔離壁を慎重に解体し始めることができます。クリーンエアの供給が停止されている場合は、再開してください。この作業段階の時間は、クリーンルームの通常作業への影響を最小限に抑えるよう慎重に選択する必要があります。この際、浮遊粒子濃度が規定の要件を満たしているかどうかを測定する必要がある場合があります。
5. 装置内部および主要なプロセスチャンバーの清掃と準備は、通常のクリーンルーム条件下で行う必要があります。すべての内部チャンバー、および製品に接触する、または製品の搬送に関与するすべての表面は、必要な清浄度レベルまで拭き取る必要があります。装置の清掃は上から下への順序で行う必要があります。粒子が拡散した場合、大きな粒子は重力により装置の底部または地面に落下します。装置の外面は上から下への清掃を行ってください。必要に応じて、製品または製造プロセスの要件が重要な領域では、表面粒子検出を実施する必要があります。
6. クリーンルームの特性、特にハイテククリーンルームは面積が広く、投資額が大きく、生産量が多く、清浄度に対する要求が非常に厳しいという点を考慮すると、このタイプのクリーンルームにおける生産プロセス設備の設置は、一般的なクリーンルームとほぼ同様であり、特別な要件はありません。このため、国家規格「クリーンルーム建設及び品質検収規定」が公布され、クリーンルームにおける生産プロセス設備の設置についていくつかの規定が設けられています。主な内容は以下のとおりです。
A. 生産プロセス設備の設置工程中に「空」受け入れを経たクリーンルーム（エリア）への汚染や損傷を防ぐために、設備の設置工程では過度の振動や傾きがあってはならず、また、分割して設備表面を汚染してはなりません。
B. クリーンルーム（区域）における生産工程設備の設置を整然と行い、座り作業が減少または減少するようにし、クリーンルームにおけるクリーン生産管理システムを遵守するために、生産設備の設置工程が「空の状態」で受け入れる各種の「完成品」および「半製品」に応じて保護されていることを確保し、設置工程で使用する必要がある材料、機械などは、生産される製品に有害な汚染物質を放出したり、発生させる可能性（クリーンルームの長時間の正常な運転を含む）があってはなりません。クリーンルームの材料は、ほこり、錆、油脂がなく、使用中にほこりを発生しないものを使用する必要があります。
C. クリーンルーム（区域）の建築装飾面は、クリーンルームパネル、フィルム等の材料で保護する必要があります。設備のバックプレートは、設計または設備技術文書の要求に従って製作する必要があります。特に要求がない場合は、ステンレス鋼板またはプラスチック板を使用してください。独立基礎および床補強材に使用する炭素鋼プロファイルは、防錆処理を施し、表面は平滑にする必要があります。コーキングには弾性シーリング材を使用してください。
D. 材料には、原材料、品種、製造年月日、保管期限、施工方法、製品証明書などを明記してください。クリーンルーム（区域）で使用する機械・工具は、クリーンルーム（区域）以外で使用しないでください。機械・工具は、クリーンルーム（区域）で使用しないでください。クリーンエリアで使用する機械・工具は、機械の露出部分から粉塵が発生しないようにするか、粉塵による環境汚染を防止する対策を講じてください。常用される機械・工具は、クリーンエリアに移動する前にエアロックで洗浄する必要があり、油分、汚れ、粉塵、錆びなどの付着物がないことを確認し、検査に合格した後、「クリーン」または「クリーンエリア専用」の標識を貼付してから移動してください。
E. クリーンルーム（区域）内の生産プロセス設備は、高床などの「特定階」に設置する必要があります。設備基礎は、一般的に下層技術中二階またはセメント多孔板上に設置されます。基礎設置のために解体が必要となる作業は、手持ち式電動ノコギリで切断された床構造を補強し、その耐荷重能力が元の耐荷重能力を下回らないようにする必要があります。鉄骨構造の独立基礎を使用する場合は、亜鉛メッキ鋼またはステンレス鋼を使用し、露出面は平滑である必要があります。
F. クリーンルーム（区域）における生産工程設備の設置工程で、壁パネル、吊り天井、上げ床に穴を開ける必要がある場合、穴あけ作業によって保持すべき壁パネルや吊り天井パネルの表面が分断されたり汚染されたりしないようにする必要があります。上げ床の開口後、基礎の設置が間に合わない場合は、安全柵や危険標識を設置する必要があります。生産設備の設置後は、穴の周囲の隙間を密閉し、設備とシーリング部品が柔軟に接触し、シーリング部品と壁パネルの接続がしっかりと固定されている必要があります。作業室の片側のシーリング面は平滑でなければなりません。
投稿日時: 2024年1月16日