クリーンルームではなぜ自動制御システムが重要なのでしょうか?

比較的完全な自動制御システム/装置をクリーンルームに設置する必要があり、これはクリーンルームの正常な生産を確保し、運用管理レベルを向上させるのに非常に有益ですが、建設投資を増やす必要があります。

さまざまなタイプのクリーン ルームには、空気の清浄度、クリーン ルーム内の温度と湿度の監視、クリーン ルーム内の圧力差の監視、高純度ガスと純水の監視、ガス純度と純水の品質の監視など、さまざまな要件と技術パラメータがあります。さまざまな業界のクリーンルームの規模と面積も大きく異なるため、自動制御システム/装置の機能はクリーンルームプロジェクトの特定の条件に従って決定され、さまざまなタイプの監視および制御システムとして設計される必要があります。クリーン ルームのみが分散型コンピュータ制御および監視システムで設計されています。

マイクロエレクトロニクスクリーンルームに代表される現代のハイテククリーンルームの自動制御・監視システムは、電気技術、自動計装、コンピュータ技術、ネットワーク通信技術を統合した包括的なシステムです。各テクノロジーを正しく合理的に使用することによってのみ、システムは必要な制御と監視の要件を満たすことができます。

電子クリーンルームにおける生産環境制御の厳しい要求を確実に実現するためには、まず公共電力システムや浄化空調システムなどの制御システムが高い信頼性を備えている必要があります。

第二に、クリーンルーム全体のネットワーク制御の要件を満たすために、さまざまな制御機器や機器をオープンにする必要があります。電子製品の生産技術は急速に発展しています。電子クリーン ルームの自動制御システムの設計は、クリーン ルームの制御要件の変化に合わせて柔軟かつ拡張可能である必要があります。分散ネットワーク構造は優れた人間とコンピュータの対話インターフェイスを備えており、生産環境やさまざまな電力公共設備の検出、監視、制御をより適切に実現でき、コンピュータ技術を使用したクリーンルーム制御に適用できます。クリーンルームのパラメータ指標要件がそれほど厳しくない場合は、従来の機器を制御に使用することもできます。ただし、どの方法を使用する場合でも、制御精度が生産要件を満たし、安定かつ信頼性の高い動作を実現し、省エネと排出ガス削減を達成する必要があります。