クリーンルームにおいて自動制御システムが重要な理由

クリーンルームには比較的完備した自動制御システム/装置を設置する必要があり、これはクリーンルームの正常な生産を確保し、運営管理レベルを向上させるのに非常に有益ですが、建設投資を増やす必要があります。

クリーンルームの種類によって、空気清浄度、クリーンルーム内の温度・湿度の監視、クリーンルーム内の圧力差の監視、高純度ガスと純水の監視、ガス純度と純水品質の監視など、要求事項と技術パラメータが異なります。また、各業界のクリーンルームの規模や面積も大きく異なるため、自動制御システム／装置の機能は、クリーンルームプロジェクトの具体的な条件に応じて決定し、各種監視制御システムに組み込む必要があります。クリーンルームのみ、分散型コンピュータ制御・監視システムを採用して設計されています。

マイクロエレクトロニクスクリーンルームに代表される現代のハイテククリーンルームの自動制御・監視システムは、電気技術、自動計測機器、コンピュータ技術、ネットワーク通信技術を統合した総合的なシステムです。各技術を正しく合理的に活用することによってのみ、システムは必要な制御・監視要件を満たすことができます。

電子クリーンルームの生産環境制御に対する厳しい要件を確保するには、まず公共電力システム、浄化空調システムなどの制御システムに高い信頼性が必要です。

第二に、クリーンルーム全体のネットワーク制御の要件を満たすために、さまざまな制御機器と計測器をオープンにする必要があります。電子製品の生産技術は急速に発展しています。電子クリーンルームの自動制御システムの設計は、クリーンルームの制御要件の変化に対応するために、柔軟で拡張性がある必要があります。分散型ネットワーク構造は、優れたヒューマンコンピュータインタラクションインターフェースを備えており、生産環境や各種電力公共設備の検出、監視、制御をより適切に実現し、コンピュータ技術を用いたクリーンルーム制御にも適用できます。クリーンルームのパラメータ指標の要件がそれほど厳しくない場合は、従来の計測器を使用して制御することもできます。ただし、どの方法を使用する場合でも、制御精度は生産要件を満たし、安定した信頼性の高い動作を実現し、省エネと排出削減を実現する必要があります。